最早的臭氧作為殺菌劑的實驗是由法國的 Meritens 于 1886 年進行的。他指出，即使是稀薄的臭氧空氣也可以對受污染的水進行消毒。幾年后，Frolich 在他在 Martinikenfeld 建造的半生產中試工廠測試了臭氧的殺菌特性。阿姆斯特丹的亨利·廷達爾男爵隨后開發了一種臭氧消毒工藝。它配備了Van Der Sleen和Schneller發明的非介電臭氧發生器，每小時可產生約10g臭氧。來自發生器的臭氧氣體被加壓送入一個高泡塔，該塔在一定高度裝有多孔板。 Tyndall 的消毒系統于 1893 年在荷蘭萊頓附近的 Owdshoorn 首次投入使用，每小時的水流量為 3 立方米。后來，該工藝在 1896 年巴黎衛生展和 1897 年布魯塞爾國際博覽會上公開展出。

1902~1903 德國西姆斯- Halx 業務在(zai)德國帕德博恩(en)（60 立方米(mi)/小時(shi)(shi)）和威斯巴登(deng)（250 立方米(mi)/小時(shi)(shi)），建造他們的(de)第(di)一批(pi)具有(you)生(sheng)(sheng)產規模的(de)水處理廠。在(zai)這些工(gong)廠，礦泉水經過含(han)有(you)細鵝卵石(shi)的(de)初級過濾器(qi)處理。礦泉水中(zhong)(zhong)的(de)臭(chou)氧吸(xi)收過程是(shi)在(zai)填充有(you)碎燧石(shi)的(de)填料(liao)塔中(zhong)(zhong)進行的(de)，顯(xian)然吸(xi)收臭(chou)氧的(de)效率不是(shi)很高。這種(zhong)方法添加的(de)臭(chou)氧有(you)很大一部分仍留在(zai)尾(wei)氣中(zhong)(zhong)。此外，氫氧化(hua)鐵 (OH) 會粘(zhan)在(zai)火石(shi)上，很容易堵(du)塞(sai)氣水通(tong)道。但是(shi)，這種(zhong)填料(liao)塔生(sheng)(sheng)產的(de)每毫升(sheng)水中(zhong)(zhong)的(de)細菌數為2~9個，這是(shi)令(ling)人滿意的(de)。

1898年(nian)，奧(ao)托等人在法(fa)國(guo)里爾試驗了一(yi)種新型板(ban)式臭氧(yang)發(fa)生器(qi)。建(jian)(jian)在法(fa)國(guo)尼斯市的大型臭氧(yang)處(chu)理水(shui)廠成(cheng)功(gong)運行(xing)，每分鐘處(chu)理13立方米的水(shui)。它使用當時新的奧(ao)托板(ban)臭氧(yang)發(fa)生器(qi)和(he)吸引器(qi)噴射器(qi)將(jiang)臭氧(yang)與水(shui)混(hun)合。 Bon Voyage 水(shui)廠于 1906 年(nian)建(jian)(jian)于尼斯，因其(qi)保持飲用水(shui)臭氧(yang)處(chu)理連續(xu)運行(xing)的世界紀錄，常被稱為(wei)“飲用水(shui)臭氧(yang)化的發(fa)源地(di)”。該工廠從 1906 年(nian)運行(xing)到 1970 年(nian)，隨著尼斯市及其(qi)郊區的發(fa)展，在其(qi)他地(di)點又建(jian)(jian)造(zao)了兩座臭氧(yang)處(chu)理水(shui)廠。舊水(shui)廠已關閉，但 Bon Voyag 水(shui)廠大樓在尼斯保留為(wei)博(bo)物(wu)館。

自 1906 年 nisbon Voyag 水(shui)廠開業以(yi)來(lai)，多個國家(jia)出現了一些使用臭(chou)氧消(xiao)毒的生產(chan)性水(shui)處理廠。到(dao) 1977 年為止(zhi)，至少有 1,036 家(jia)已知的臭(chou)氧處理水(shui)廠，其中一半以(yi)上位(wei)于法(fa)國。

在(zai)美國，第一(yi)座臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)處理水(shui)(shui)廠于(yu) 1900 年至 1905 年間在(zai)費城建(jian)成，其中(zhong)(zhong)(zhong)最大的一(yi)座能夠處理來自 Schuylkill 河的水(shui)(shui)，粗濾后(hou)為 3.1 立方(fang)(fang)米(mi)/分鐘。接觸塔首次采用(yong)直徑30.5厘米(mi)、長45.7厘米(mi)的短玻璃管制(zhi)成。每段之間安裝穿(chuan)(chuan)孔(kong)板(ban)，柱高(gao)10m。當水(shui)(shui)和臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)從塔底(di)向(xiang)同一(yi)方(fang)(fang)向(xiang)流動(dong)時(shi)，每個多孔(kong)板(ban)下方(fang)(fang)的氣液層(ceng)被分離。由于(yu)穿(chuan)(chuan)孔(kong)板(ban)實(shi)際上阻(zu)止了(le)臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)流入(ru)水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)(zhong)，他取下穿(chuan)(chuan)孔(kong)板(ban)并開(kai)始從塔頂供水(shui)(shui)。臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)向(xiang)上流動(dong)，與水(shui)(shui)流方(fang)(fang)向(xiang)相反，這樣臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)更易溶(rong)解。 1905年建(jian)成直徑61cm、91.5cm的大型(xing)鋼制(zhi)接觸塔。結(jie)果表明，處理后(hou)的水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)(zhong)細(xi)菌去除率(lv)(lv)為99.985%~99.998%。臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)用(yong)量約為 2.292×10 的負(fu)(fu)(fu) 4 mol/L（11mg/L）次方(fang)(fang)，攝入(ru)量僅含有(you)極(ji)低濃度(du)的臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang) 2.708×10 負(fu)(fu)(fu) 4 倍(bei) 5 m3 mol/L（1.3mg/L） L)。此外(wai)，原水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)(zhong)有(you)機物含量為（3.021~2.229）×10至負(fu)(fu)(fu)4次方(fang)(fang)mol/L（14.5~10.7mg/L）。在(zai)臭(chou)(chou)(chou)氧(yang)(yang)氧(yang)(yang)化過程(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)，有(you)機物減少40%，色(se)度(du)去除率(lv)(lv)為77%，亞硝酸鹽去除率(lv)(lv)為79.5%，類蛋(dan)白(bai)氨去除率(lv)(lv)為11.9%。

美(mei)國戰(zhan)爭部衛生署(shu)(shu)署(shu)(shu)長的(de)(de)年度報告記錄了美(mei)國為改(gai)善軍隊供水所(suo)做(zuo)的(de)(de)努力。 1909 年，使用(yong)(yong)安(an)裝在軍事醫學(xue)博物(wu)館(guan)的(de)(de)實驗設備研究了尼(ni)亞加拉(la)堡（紐約州福斯特尼(ni)亞加拉(la)）臭氧的(de)(de)使用(yong)(yong)情況(kuang)。

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